薄膜均匀性概念
1.厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。设备的维护要有日常维护和定期维护1,日常维护就是在当天生产中发现设备有不良迹象,就马上解决。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10A甚至1A的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
2.化学组分上的均匀性: 就是说在薄膜中,化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性,SiTiO3薄膜,如果镀膜过程不科学,那么实际表面的组分并不是SiTiO3,而可能是其他的比例,镀的膜并非是想要的膜的化学成分,这也是真空镀膜的技术含量所在。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。 具体因素也在下面给出。
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真空抽不上去的原因
1、漏率偏高就是我们通常所说的漏气;.
2、真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了:
3、真空室内太脏放气;
4、真空室内有漏水;
5、真空管道有漏气;.
6、或者是以上几种可能都有。
出现问题首先是要判断,是不是拆卸过东西,是不是漏水?阀门打开了吗?根据现象判断原因,然后再去根据判断找问题,可能会收到事半功倍的效果。
养成良好的卫生习惯
相比以前我们厂的设备是灰尘满面、油渍不堪。也许很多人都认为,设备只要正常运转就可以了,搞得再干净也是做表面工作。而对于空间红外辐射,普通玻璃虽能阻止室内的热量直接透过室外,但热量被玻璃吸收后的二次散热也会造成很大的损失。我可是这样认为的,一个人连表面工作都作不来,那真的还有内在、实在的工作吗?当然设备和设备周围的灰尘、油污对设备的本身的影响也是相当之大的。灰尘能产生静电,损坏电子元件;油污能使电线、水管硬化开裂,造成一些意想不到的问题出现。特别我们使
用的真空设备,还有它本身的特殊性。真空设备讲究的是-一个真空清洁度,真空清洁度越差,放气性就越大。这样使设备抽到较高的真空度所需的时间就越长。
或者根本就无法抽到。这样一来就减少我们的产量,二来影响到了我们的产品的质量。
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真空镀膜机检漏
要承认漏气究竟的虚漏仍是实漏,因为工件资料加热后都会在不同程度上发生气体,有也许误以为是从外部流进的气体,这即是虚漏,要扫除这种状况。
第二,测验好真空室的气体密封功能,确保气密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨细,形状、方位,漏气的速度,制备出可处理方案并施行。
第四,断定检查仪器的1小可检漏率和检漏灵敏性,以1大规模的检查出漏气状况,防止一些漏孔被疏忽,进步检漏的准确性。
第五,掌握检漏仪器的反应时刻和消除时刻,把时刻掌握好,确保检漏仪器作业到位,时刻少了,检漏作用必定差,时刻长了,糟蹋检漏气体和人工电费。
第六,还要防止漏孔阻塞,有时因为操作失误,检漏过程中,一些尘埃或液体等把漏孔阻塞了,以为在该方位没有漏孔,但当这些阻塞物因为内外压强区别进步或别的缘由使漏孔不堵了,那漏气仍是存在的。
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